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VMB阀门分配箱的设计与应用

2020-03-13 10:03:42        0

VMB阀门分配箱的设计与应用

阀门配电箱(VMB)通常用于输送特殊气体。在半导体、光伏太阳能、集成电路芯片生产领域,VMB广泛应用于磷化氢、硼烷、硅烷、硫化氢、硫化氢、易燃易爆、有毒气体等应用。

近年来,智研数据研究中心,随着中国超大规模集成电路、平板显示、光伏发电等行业的快速发展,大大增加了电子燃气市场的需求。电子特种气体的国产化已成为大势所趋。
据了解,中国国产化取得可喜进展:国内高纯氨改变了国外气体企业的垄断市场,高纯四氟化碳“贵而不可得”的时代已经结束。高纯度氯化氢已于中国成功打开。市场。因此,阀门分配系统的应用将会越来越广泛。


电子特种气体VMB阀门分配箱应设计进气管隔离阀和压力指示器;气路应提供独立的压力控制调节阀、过滤器和过流开关;气体分支应配备独立的出口隔离阀;管道上应提供独立的吹扫气体设备和辅助真空设备。

对于惰性气体,应提供入口管道隔离阀和压力指示器;气路应配备独立的压力控制阀、过滤器;应为气体分流提供单独的出口隔离阀。

电子气体,尤其是危险的特殊气体,是集成电路、光电子学、微电子学,尤其是超大规模集成电路、液晶显示设备、半导体发光器件和半导体材料制造过程中必不可少的基础支撑材料。这种材料在电子工业中被称为“血液”和“食品”,它们的纯度和清洁度直接影响光电产品的质量。微电子元件的质量、集成度、具体技术指标和成品率从根本上限制了电路和器件的精度和准确度。VMB阀门分配箱的引入是一对多点对点分支的核心单元。不仅保证了更多的用气,也保证了用气的安全性。


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